Manyleb | LMT-XY-200X200 | ABVT-Z20 (rheilffordd cario aer) |
Math Modur | Modur di-haearn tri cham | Modur coil llais + |
Datrysiad | Maint digidol 100nm rhagosodedig | 1vpp i lawr i 5nm |
Gwthiad modur | Parhaus 60N/uchafbwynt 210N | Parhaus 60N/uchafbwynt 210N |
Maint cam lleiaf[nm] | 200nm | 100nm |
Teithio [mm] | 200×200 | 10 |
Ailadroddadwyedd [um] | ±0.3 | |
Cywirdeb Swydd [um] | ±1 | ±0.5 |
Gwastadedd [um] | 10wm | 5wm |
Syth [um] | 1wm | 1wm |
Cyflymder uchaf [mm/s] | 500mm/s | 30mm/s |
Cynhwysedd Llwyth [kg] | 5kg (echel Z gyda phwysau cydbwysedd grym cyson niwmatig) |